センサ・マイクロマシン工学 /藤田博之
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≪商品情報≫
著者名：藤田博之
出版社名：オーム社
発行年月：2005年10月
判型：Ｂ５
ISBN：9784274201349
≪内容情報≫
センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらに化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説した教科書。近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応。
著者名：藤田博之
出版社名：オーム社
発行年月：2005年10月
判型：Ｂ５
ISBN：9784274201349
≪内容情報≫
センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらに化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説した教科書。近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応。